nanome|x 180

Technische Daten und Konfiguration

Röntgenröhre: Mikro- / Nanofokus-Transmissionsröhre (offen)

  • Röhrenspannung: 180 kV
  • Max. Röhrenleistung: 15 W
  • Target: Wolfram

Röntgendetektor: 

  • Digitale Bildkette mit hochauflösendem 4“ dual-field Bildverstärker
  • 2MPixel Digitalkamera und 24“ TFT-Display

Manipulator: Hochpräzise synchronisierte vibrationsfreie 5-Achsen Manipulation

  • Max. Durchlichtfläche: 460 mm x 360 mm
  • Max. Probengröße/-gewicht: 680 mm x 635mm / 10 kg
  • Schrägdurchstrahlung: stufenlos verstellbarer. Projektionswinkel bis 70°, Drehung 0°-360°
  • Dreh- und Kippeinheit: Neigung +/- 45°, Drehung n 360°, bis 2 kg

Systemvergrößerung: 

  • Geometrische Vergrößerung bis zu 1.630-fach
  • Gesamtvergrößerung bis zu 17.490-fach

Systemauflösung:

  • Detailerkennbarkeit bis zu 0,2 µm (200nm)

3D-Betrieb (CT):

  • CT Vorbereitung für spätere CT-Aufrüstung

Softwaremodule

  • bga|module für automatische BGA-Lötstellenkontrolle
  • vc|module zur automatischen Porenauswertung