nanome|x 180 + CT

 

Technische Daten und Konfiguration

Röntgenröhre: Mikro- / Nanofokus-Transmissionsröhre (offen)

  • Röhrenspannung: 180 kV
  • Max. Röhrenleistung: 20 W
  • Target: Diamantfenster

Röntgendetektor: 2 MPixel Bildverstärker (BV) + Digitaler Detektor GE DXR250RT

  • temperaturstabilisiert mit aktiver Kühlung
  • Pixel: 1000 x 1000
  • Auflösung: 200 x 200 µm
  • Bilderfassungsrate: bis zu 30 fps im Vollbildmodus

Manipulator: Hochpräzise synchronisierte vibrationsfreie 5-Achsen Manipulation

  • Max. Durchlichtfläche: 460 mm x 360 mm
  • Max. Probengröße/-gewicht: 680 mm x 635mm / 10 kg
  • Schrägdurchstrahlung: stufenlos verstellbarer. Projektionswinkel bis 70°, Drehung 0°-360°
  • Dreh- und Kippeinheit: Neigung +/- 45°, Drehung n 360°, bis 2 kg
  • CT-Einheit: Präzisionsdrehachse

Systemvergrößerung: 

  • Geometrische Vergrößerung (DXR Detektor): 1.970-fach
  • Gesamtvergrößerung (DXR Detektor): max. 2.660-fach

Systemauflösung:

  • Detailerkennbarkeit bis zu 0,2 µm (im 2D-Betrieb)

3D-Betrieb (CT):

  • Max. geometrische Vergrößerung: 100-fach
  • Max. Voxelauflösung: bis zu 2 µm, abhängig von der Probengröße
  • Volumenaufnahme-/ u. Rekonstruktionssoftware: phoenix datos|x

Softwaremodule

  • bga|module für automatische BGA-Lötstellenkontrolle
  • vc|module zur automatischen Porenauswertung